机械工程学院装备智能设计与方法科研团队何江波副教授在MEMS行波超声电机方向取得重要成果

近期，机械工程学院装备智能设计与方法科研团队何江波副教授在国际知名期刊《MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING》发表题为“Traveling wave distortion of MEMS ultrasonic motor induced by anisotropic elasticity”的研究论文。何江波副教授为论文的第一作者，西华大学为论文的第一完成单位，合作单位包括电子科技大学和中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心。

期刊《MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING》为中科院SCI分区1区，工程技术类Top期刊，影响因子8.934。作为工程技术领域的多学科期刊，《MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING》旨在发表系统建模与信号处理相关的高质量原创性研究成果，涉及的学科包括机械工程、航空航天工程及土木工程等。

MEMS行波超声电机是一种基于微机电系统技术进行制造的微型电机，其基本原理是通过逆压电效应激发定子的微幅振动，然后利用摩擦效应将定子微幅振动转化为转子的持续转动。然而，行波畸变问题会对MEMS行波超声电机的输出稳定性和效率造成严重影响。针对行波畸变问题，该论文首次发现了单晶硅材料的各向异性是诱发行波畸变问题的因素之一，通过Hamilton原理建立了畸变行波的机电耦合模型，基于模型探明了模态恶化是各向异性诱发行波畸变问题的内在机理，并且筛选出了能够保证高质量行波的最优模态，最后通过实验测试验证了理论研究结果。 

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